我国从20世纪60年代开始发展精密和超精密机床,1987年北京机床研究所研制成功空气轴承主轴的加工球面的超精密车床。“十五”期间我国超精密机床获得了较大的发展,但和工业发达国家相比还有较大的差距。第二次世界大战后的20世纪50年代后期,美国首先开始进行超精密加工机床方面的研究,目前,美国比较有名的从事超精密加工制造的公司、企业至少有30家,其中最具代表性并取得重大成果的是美国劳伦斯·里佛摩尔国家实验室(Lawrene Livermore National Laboratory,LLL国家实验室)。超精密加工技术的发展使美国在航空、航天、核能等方面取得了重大的成就,如LLL国家实验室的大型光学金刚石车床LODTM和大型金刚石车床DTM-3是现在世界公认的水平最高、达到当前技术最前沿的超精密车床。由于美国超精密机床水平较高,商品生产不仅国内使用,还有相当多的出口,比较著名的有Moore公司的M-18AG型超精密非球曲面车床和Pneumo公司的MSG-325型超精密非球面车床等。超低温处理